Тонкопленочные резисторы

Резисторы тонкоплёночные – тонкие резистивные плёнки, нанесённые на диэлектрическую подложку. Концы плёнки замыкаются на контактные площадки, имеющие высокую проводимость (металлы). Используются в гибридных ИС (резисторы напыляются на подложку, транзисторы – наклеиваются).

Рис. 5. Сопротивление резистора прямоугольной конфигурации

Рис. 6. Тонкая резистивная пленка в форме квадрата

Сопротивление двух квадратов одинаковы, т.е. квадрат с любой стороной “ a ” имеет одно и то же сопротивление. Такое сопротивление называется поверхностным (R_S), оно зависит только от толщины и материала плёнки:

Размерность поверхностного сопротивления: Ом×см×(см/см²)=Ом, т.е. просто размерность сопротивления, но, чтобы подчеркнуть, что это – сопротивление пленки квадратной формы, используется название размерности «ом на квадрат», обозначается: Ом/□.

Сопротивление линейного резистора

определяется количеством квадратов со стороной w, которые уместятся на длине l. Для повышения сопротивления используют более сложную топологию резистора - меандр (змейку). Для изменения толщины d надо менять технологию. В интегральной технологии d по всей площади одинакова, следовательно, можно менять только длину и ширину.

Рис. 7. Резистор сложной конфигурации

Сопротивление резистора сложной конфигурации:

.

где: - сопротивление излома; - длина прямоугольных участков.

Можно показать, что .

Резистор, показанный на рис. 7 имеет 6 изломов (N _ИЗЛ).

Материалы тонкоплёночных резисторов – сплавы с высоким сопротивлением, например нихром.