Висновки

На рисунку 1.25 схематично зображено області гене- рації та просторовий розподіл відбитих електронів, вторинних електронів, рентгенівського випромінювання, оже-електронів та катодолюмінесценції, що виникають у результаті взаємодії пучка з твердою мішенню.

Рисунок 1.25 – Область взаємодії електронів пучка з твердим тілом: 1 - область генерації оже-електронів; 2 - область генерації вторинних електронів; 3 - область генерації відбитих електронів; 4 - область генерації характеристичного рентгенівського випромінювання; 5 - область генерації безперервного рентгенівського випромінювання; 6 - область генерації катодолюмінесценції

Коротко відмітимо основні моменти стосовно генерації носіїв інформації, яка використовується у растровій електронній мікроскопії, рентгенівському мікроаналізі та оже-спектральному аналізі:

- ширина області виходу оже-електронів приблизно дорівнює діаметру пучка і за глибиною становить до 1 нм;

- область виходу відбитих електронів за глибиною дорівнює 0,3 R_ко;

- глибина генерації вторинних електронів становить від 5 до 500 нм;

- область генерації характеристичного рентгенівського випромінювання обмежена поверхнею з енергією Е = Е_кр;

- область утворення безперервного рентгенівського випромінювання за розміром збігається з розмірами області взаємодії;

- область, де виникає катодолюмінесценція, більша порівняно з розмірами області взаємодії.