ПОРЯДОК ВИКОНАННЯ РОБОТЫ НА РАСТРОВОМУ ЕЛЕКТРОННОМУ МІКРОСКОПІ (РЕМ) HITACHI S-806
Ввімкнення
· Перед початком роботи переконайтесь про світіння індикаторних лампочок IP1, IP2, IP3 на панелі контролю вакуума.
· Світіння лампочок сигналізує про наявність вакууму:
· IP1 вакуум ≥ 1,5 10-7 мм.рт.ст.
· IP2 вакуум ≥ 2 10-6 мм.рт.ст.Па
· IP3 вакуум ≥.7 10-5 мм.рт.ст.
· Переконайтесь, що клавіша EVAC знаходиться в нижньому положенні, а ключ SC / SEC встановлений в положення SEC.
· ввімкніть живлення тумблером EVAC POWER
· ввімкніть акумулятор
· на панелі TMP CONTROL ввімкніть тумблер POWER, а потім MOTOR.
· зачекайте 15 хвилин поки ТМП вийде на штатний режим роботи.
· переконайтеся, що сигнальні лампи DP/TMP і AIR PRESS світяться.
· зачекайте приблизно 15 – 20 хвилин до завершення відкачки основної камери і впевніться, що індикаторна лампа S.C.VACUUM HIGH світиться.
· ввімкніть ключ DISPLAY POWER.
Заміна зразка і шлюзування
· - ввімкніть блок живлення столика.
· ввімкніть блок живлення столика за допомогою пульта управління столиком встановіть його в позицію зміни зразка (команда 01)
|
|
· переконайтеся, що ключ S.C. AIR LOCK VALVE встановлений на CLOSE, ключ SC / S.E.C. встановлений в положення S.E.C. і лампа S.E.C. VACUUM HIGH світиться.
· Відкрийте клапан між основною камерою і шлюзом, встановивши ключ SECVALVE в положення OPEN.
· Введіть стрижень шлюзу до зіткнення з носієм зразка і вверніть його (за годинниковою стрілкою) в різьбовий отвір носія. Після цього витягніть стрижень до його фіксації. Носій зразка можна спостерігати у вікно шлюзу.
· закрийте клапан, встановивши ключ SECVALVE в положення CLOSE
· переконавшись, що ключ S.C. / S.E.C. встановлений в положення SEC, натисніть клавішу AIR
· Після натікання повітря в шлюз зразок можна витягти і встановити інший об'єкт дослідження.
· Після установки нового зразка закрийте шлюз (введіть утримувач зразка в шлюз).
· Натисніть клавішу EVAC. По завершенні відкачування шлюзу включиться лампа SECVACUUM HIGH.
· Відкрийте клапан шлюзу, встановивши ключ SECVALVE в положення OPEN.
· Встановіть носій із зразком на столик, всуваючи стрижень шлюзу до упору.
· Вигвинтіть стрижень з носія і витягнути його до фіксації.
· Закрийте клапан шлюзу, встановивши SECVALVE в положення CLOSE.
· На пульті управління столиком набрати потрібні координати і перемістити зразок під електронний зонд.
Робота в режимі вторинної емісії
· Включити ключ DISPLAY POWER. Через 10 - 15 секунд на екрані монітора з'явиться лінія сканування. Якщо лінія сканування не спостерігається, ручкою BRIGHTNESS збільшити яскравість
· Початкове умова: ключі S.E. / R.E. і IMAGE SIGNAL SELECTOR встановлені в положення SE.
· Ключем WD встановити робоча відстань 30 мм
|
|
· Клавішею MAGNIFICATION встановити мінімальне збільшення.
· Переконавшись, що зелена лампа SCVACUUM HIGH світиться, перемкнути тумблер SC AIR LOCK VALVE в положення OPEN. При цьому включиться зелена лампа клавіші READY OFF, підтверджуючи стан готовності.
· Включити високу напругу клавішею HV ON і вичекати встановлення тягнучої і прискорюючої напруг, струму катода (їх значення висвічуються на дисплеї).
· Ручками BRIGHTNESS і CONTRAST встановити кольорові смуги яскравості і контрасту на середині шкали.
· Клавішею MAGNIFICATION встановити мінімальне збільшення.
· Сфокусувати зображення зразка ручкою FOCUS COARSE
o Вибрати на поверхні зразка місце аналізу і підвести його в центр екрану.
· Клавішею MAGNIFICATION встановити потрібне збільшення
· Ручками FOCUS, STIGMATOR, BRIGHTNESS, CONTRAST домогтися якісного зображення поверхні вибраної ділянки.
· Зберегти зображення на комп'ютері. Виміряти задані розміри елементів зображення на екрані монітора.