Introduction of laser technology controlled thermocracking in russia

The work is dedicated to the development of highly efficient technologies of precision cutting brittle non-metallic materials on the basis of a method of laser-managed thermosplitting (LCT), which gets recently the increasing distribution and worldwide recognition. Some examples of high-tech solutions to problems using the method of LCT.

Keywords: Laser controlled thermocracking, Sapphire, Glass, Silicon

Благодаря надрезам глубиной 100 мкм и последующему сквозному ЛУТ резы формировались ровными без отклонений и торцы рабочей поверхности кристаллов получились качественными по двум направлениям (Рис.1).

а) б) в) г)

Рис.1. Видимая ширина зоны термического влияния и ширина надреза (а);

глубина надреза 100 мкм в профиль (б); качество резов после ЛУТ

по двум направлениям с рабочей стороны (в, г), 20^х

(1)

Одномерная задача для поглощения излучения по закону Бугера решается аналитически и выражается рядом Фурье по Cos (pzn / h) – где z – текущая координата, h – толщина пластины, n – натуральное целое число.

Как показали сравнительные испытания (Табл. 1), лазерная резка методом ЛУТ обеспечивает повышение прочности кромки стекла в 5 и более раз.

Таблица 1. Прочность кромки флоат-стекла при различных методах резки

Список литературы

1. Кондратенко В.С Способ резки хрупких материалов / Патент РФ №2024441, МКИ СО3 В 33/02. – 1991.

2. Кондратенко В.С., Исай И.А. Лазерная технология изготовления сеток и шкал для оптических приборов / Российский технологический журнал. № 3 (8), т.2. 2015. МИРЭА. Москва. – С. 22-28.