Исторические этапы изучения поверхности и тонких покрытий

Материально-техническое обеспечение дисциплины (модуля)

Контроль и оценка результатов обучения.

Примерная модульно-рейтинговаякарта по дисциплине

Виды учебной работы	Максимальный балл	Зачетный балл
Модуль 1. Линейная алгебра
в том числе
Посещение лекций
Посещение практических занятий
Выполнение контрольной работы
Mодуль 2. Аналитическая геометрия
в том числе
Посещение лекций
Посещение практических занятий
Выполнение контрольной работы
Модуль 3. Математический анализ
в том числе
Посещение лекций
Посещение практических занятий
Выполнение контрольной работы
Модуль 4. Теория вероятностей и математическая статистика
в том числе
Посещение лекций
Посещение практических занятий
Выполнение контрольной работы
Модуль 5. Дискретная математика
Промежуточная аттестация -зачет
Итого по дисциплине:

Аудиторный фонд по адресу: ул.Никоямская 30 – ауд.301, 303, 304, 305.

Авторы: к.п.н., доцент Садыкова А.Р.

Утверждено на учебно - методическом совете института САиИ от 15.06.2011 № 8

Рассмотрено на заседании учебно-методического совета университета от ________№

1-й этап. Изучение стр-ры и строения поверхностных слоёв реального твёрдого тела.

1. Абсорбированные слои которые в основном состоят из паров и углеводородных загрязнений

2. Плёнки естественного оксида, возникает под действием кислорода

3. Дефектный слой, в котором находятся микротрещины, дефекты обработки, и.т.п.

4. Основной материал

Итак, структуру поверхностного слоя можно рассматривать как многослойный материал. С этого и началось изучения стр-ры поверхности, и были сделаны следующие выводы:

«Св-ва поверхности в значительной степени определяются абсорбированными слоями, стр-рой, составом оксидной плёнки и дефектного слоя»

2-й этап. Исследование атомно-читых поверхности, изучение которых стало возможно благодаря вакуумной технике. Изучение атомарно-чистых поверхностей привило к изучению микроэлектроники. Эти чистые пов-ти получают расколом кристаллов в вакууме.

· Нанесение в высоком вакууме тонкого слоя на подложку.

· Очистка поверстного слоя в вакууме с помощью ионнолучевое травление.

· Нагрев для высоких температур в защитной среде или высоком вакууме.

Однако ионное или ионнолучевое травление, нагрев, могут приводить к изменению поверхностных слоёв. А нагрев до очень высоких температур не всегда позволяет удалять химически сорбированные слои или оксиды.

Установлено что атомарночистые объекты имеют специфическое строение и св-ва. И определены фундаментальных характеристики поверхностных слоёв, что позволило сформировать законченное представление о поверхностных слоях и использовать их в микроэлектронике, как слои с особыми физическими св-ми.

3-й этап характеризуется, что внимание было обращено на изучение межфазных границ в многослойных системах и композитах, а также их изменение при внешних воздействиях. Успехи современного материаловедения с развитием наноматериаловединием в значительной степени определяются изучением межфазных слоёв (границ). Роль межфазных границ является определяющим при толщинах плёнок в наноразмерах.

В зависимости от формы и размеров можно классифицировать на: одномерные двухмерные и трёхмерные

Одномерные - микро и наночастицы конденсируемой фазы св-ва которых зависят по крайней мере в 2-х направлениях (кластеры, капли)

Двухмерные - мерные тонкие плёнки, покрытия, св-ва которых зависят в одном направлении, а именно толщина покрытия.

Трёхмерные - твёрдые тела и жидкости св-ва которых не зависят от размеров

Покрытие можно получать:

• Формирование из газовой фазы различными способами;
• Формирование из жидкой фазы (из расплава, газопламенного потока)
• Формирование из веществ твёрдой фазы (припекание фольги, перенос при трении)