Достоверность научных положений и результатов исследования

Достоверность результатов обеспечивается использованием хорошо зарекомендовавших себя аналитических и численных методов математики, физики, физической химии, строгой обоснованностью приближений в

процессе расчета распыления материала в плазме, управления ионным лучом, осаждения поликристаллических тонкопленочных слоев.

Основные научные положения выносимые на защиту:

1. Спроектирован и изготовлен экспериментальный образец установки ионно-лучевого осаждения реализующей в едином технологическом пространстве процессы получения пленочных слоев и нанесение металлизации контактов в локальные области для создания топологического рисунка.

2. Изготовлен комбинированный источник ионов для установки ионно-лучевого осаждения, в котором возможно получать, как один тип ионов, так и несколько разных типов ионов в одном пучке. [2]. 

3. Разработана и изготовлена независимая система откачки вакуумной установки ионно-лучевого осаждения, что позволяет поддерживать необходимое давление в требуемом месте установки.

4. Разработаны и изготовлены гетероионные насосы для получения соответствующего вакуума в рабочем пространстве источника ионов, и рабочем пространстве вакуумной камеры, где происходит осаждении тонких пленок [6].

5. Исследован процесс осаждения тонкопленочных слоев на подложке из диэлектрических материалов (кварцевого стекла, возможно, использование обычного оконного стекла) [2,3].

6. Разработана ионно-лучевая технология получения легированных тонкопленочных  слоев p–типа и  n-типа, осаждения многослойной структуры металлической гребенки, позволяющая получать дешевые тонкопленочные поликристаллические солнечные элементы с достаточно высоким КПД не менее 10 %.

Апробация и внедрение результатов исследования.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на IV международной научно-технической конференции «Современные энергетические системы и комплексы и управление ими» (Новочеркасск, 2004), IV международной конференции «Опто; наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (Ульяновск, УлГУ, 2004), V международной конференции ученых и студентов «Актуальные проблемы современной науки» (Самара, 2004), V международной конференции ученых и студентов «Актуальные проблемы современной науки: Естественные и медицинские науки» (Самара, 2004), Девятой международной технической конференции «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники» (Дивноморск, 2004), IV международной научная конференция «Химия твердого тела и

современные микро и нанотехнологии» (Ставрополь СевКазГТУ, 2004), V международной научно-практической конференции «Теория, методы и средства измерений, контроля и диагностики» (Новочеркасск, 2004), в журнале «Известия вузов Северо-Кавказкого региона Технические науки» (Прил. №9), а так же на конференциях и совещаниях, семинарах  лаборатории  «ЭиА» ВИ ЮРГТУ.

Публикации.

По результатам исследований опубликовано 24 печатных работы, в которых изложены основные положения диссертации. Основные результаты работы получены автором самостоятельно.

   Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и выводов, содержит 151 печатных страниц текста, 63 иллюстраций, 6 таблиц. Список литературы включает 113 наименований.