Устройство загрузки-выгрузки подложек в реакционную трубу

1 – кварцевая труба, 2 – подложки, 3 – кварцевая лодочка, 4 – кварцевый стержень, 5 – ходовой винт.

Устройство загрузки-выгрузки обычно размещается в камере с ламинарным потоком воздуха, создающей обеспыленную атмосферу в зоне работы загрузчика лодочек с подложками. Камеры загрузки построены по принципу технологических скафандров. Перед загрузкой в реакционную трубу диффузионной установки подложки размещаются в кварцевой лодочке на расстоянии

7…10 мм друг от друга. (рисунок а). при загрузке возможно появление кварцевых микрочастиц, образующихся при трении лодочки о реакционную трубу (рисунок а). Эти микрочастицы, попадая на поверхность подложек вместе с потоком ПГС, приводят к дефектам структур. Поэтому разработаны различные конструкции загрузочных устройств, заменяющих трение скольжения трением качения (рисунок б, в) или вообще исключающих трение за счет использования консольных держателей и загрузчиков (рисунок г). Скорость перемещения лодочки с подложками при загрузке обычно не превышает 30…70 см/мин и тщательно контролируется системой управления для уменьшения термодинамических нагрузок на подложки и повышения воспроизводимости результатов процесса.