Установка контактного размножения рабочих фотошаблонов ЭМ-583

«Тамарак»

Позиции: 1-запорный клапан

2,2 0,2 8-регулятор 3- канал

4,7,9,10, 13,21-канал 5- клапан крепления ЭФШ 6, 11, 16-распределитель 8, 14, 18, 19, 27-дроссель 12- балластная камера 10, 15, 17, 25, 26- блокирующий клапан

22- осветитель

23- механизм прижима 24, 29- манометр

С_г камера ЭФШ

С-камера

С_(<- камера РФШ

Установки построены по единой схеме и содержат следующие основные узлы: осветитель, механизм прижима, вакуумно-пневмотическую систему. В исходном состоянии крышка механизма прижима 23 открыта, все клапаны включены. Через запорный клапан 1 установка соединяется с источником вакуума. Для закрепления ЭФШ включается клапан 5, соединяя источник вакуума через регулятор 2, канал 4, распределитель 6 и канал 9 с камерой С,.

Регулятор 2, связан контрольным каналом 7 с распределителем 11 и настраивается таким образом, чтобы разряжение в выходном канале 4

регулятора 2 всегда было на 6,5......ЮкГТа больше, чем в камер С. Поскольку в

исходном состоянии давление в камере С равно атмосферному ЭФШ прижимается давлением к упругому уплотнению крышки.

После загрузки копии (РФШ) крышка механизма прижима закрывается, при этом срабатывает конечный выключатель, связанный с блокирующим клапаном 17. Одновременно с этим клапаном включаются также клапан 15 и 26. Включение клапана 15 необхордимо для откачки камеры С_к и закрепления копии (РФШ). Откачка производится через распределитель 16, блокирующий клапан 17, до создания в камере С_к разрежения, которое на 6,5... 1 ОкПа больше, чем в камере С.

Через клапан 26, регулятор давления 28 дроссель 27 производится продувка

камеры С азотом для удаления из нее атмосферного воздуха. Давление............

азота контролируется манометром 29. По окончании продувки камеры С азотом клапан 26 отключается и начинается основной цикл работы установки. Для этого включается клапан 10, соединенный с вакуумным каналом 3. Через распределитель 11, балластную камеру 12 и клапан 13 производится откачка камеры С. Камеры С-» и С_к соединяются между собой клапанами 25, давление в них уравнивается, оставаясь за счет настройки регулятора 2 на 6,5... Ю к Па ниже чем в камере С. Производится одновременная откачка всех трех камер. Разница давлений в камерах С, и С_к прижимают ЭФШ и копию к резиновым уплотнениям, отжимая друг от друга и давая возможность откачать камеру С. Номере откачки всех трех камер разряжение в них сравнивается на уровне 16,5кПа упругие уплотнения прижимают пластины ЭФШ и РФШ друг к другу. Усилие сжатия пластин регулируется за счет напуска воздуха в камеры С, и С_к воздуха при подключенного каналов 15 к дросселю 19 регулятора давление 20, соединительного клапана 21, с распределителем 11.

Предварительная настройка регулятора 20 позволяет повысить давление в камерах С, и С_к до любого заданного значения в диапазоне 16,5... 1 ООкИа. Для реализации «мягкого контакта», давление в камерах над ЭФШ и РФШ достаточно поднять до 17кПа, при «жестком прижиме» давление в этих камерах становится равным атмосферному.

В связи с разным объемом камер С, и С_к при одинаковой скорости натекания возможно неравенство давлений, для предотвращения этого применяется дроссель 18, и контролируется данный параметр постоянно манометром 24.

Включение экспонирования про изводится по сигналу датчика давления или комндоаппарата, выключение - по команде реле времени. В момент окончания экспонирования включаются клапаны 5 и 15, снова подключая камеры С_э, С_к к вакууму через клапан 10 происходит подтекание воздуха в камеру С, повышение в ней давления, возникает усилие, разъединяющее ЭФШ и РФШ. Их окончательное разъединение производится после открытия клапана 25 соединения клапана 10 с атмосферой. Давление во всех трех камерах начинает возрастать, при этом дроссели 8 и 14 поддерживают его в камерах С_э и С_к на 17кПа ниже, чем в камере С. Это способствует разведению ЭФШ и РФШ окончательно.

Открывание крышки камеры механизма прижима приводит к выключению клапанов 17 и 15 и подключению их к атмосфере. Давление в камере С_к повышается до атмосферного, копия снимается и заменяется новой заготовкой.

Разряжение в камере С_э сохраняется, поэтому ЭФШ остается закрепленный на крышке камеры, которая готова к выполнению следующего цикла.

Осветитель 22 включает в себя ртутно-кварцевую лампу, отражатель, фильтр для отделения ИК-облости спектра, блок растров, диафрагму и конденсор.

Механизм прижима должен обеспечить равномерный плотный контакт ЭФШ и РФШ при экспонировании.

Современные установки тиражирования позволяют тиражировать ЭФШ с микронными размерами элементов рисунка

Технические данные: производительность — 20шт/ч

Размер фотошаблона:

толщина— 1,3-3,5 мм

минимальный размер - 0,1 мкм