Интегральных микросхем

Герметизация является заключительным этапом изготовления ИС и может выполняться сваркой, пайкой мягкими и твердыми припоями, стеклом, клеем, пластмассой. Для герметизации ИС используются металлостеклянные, металлокерамические и пласт­массовые корпуса.

На рисунке ниже показаны конструктивные схемы герметизации корпусов ИС холодной сваркой (а), контактной точечной (б) и роликовой (в), аргонно-дуговой (г), микроплазменной (д) сваркой и пайкой (е). Для герметизации корпусов ИС холод­ной сваркой чаще всего применяют точечную сварку по замкну­тому контуру (периметру) силами Р, направленными перпен­дикулярно свариваемым поверхностям (рис. а). Внутри ста­кана 5 перемещаются верхний 4 и нижний 3 пуансоны, герме­тично соединяющие баллон 2 и крышку 1 корпуса ИС. Сварное соединение получается вследствие пластической деформации хо­рошо очищенных от оксидного слоя и жировых пленок свари­ваемых металлов (как однородных, так и разнородных). Контактная (электроконтактная) сварка применяется для герметизации ИС в металлостеклянных и металлокерамических корпусах круглой и прямоугольной формы со штырьковыми вы­водами. Основными ее видами являются сварка по контуру (рис. б) и шовная роликовая (рис. в) сварка. Гер­метичное неразъемное соединение получается за счет нагрева свариваемых материалов до пластического или расплавленного состояния с последующим сжатием. Нагрев осуществляется про­пусканием электрического тока через свариваемые элементы.