Основная тенденция в производстве датчиков - использование технологии микроэлектроники, снижающей себестоимость, габариты, потребляемую мощность и повышающей надежность датчиков. Это означает переход от макросенсорики к микросенсорике.
Технология микроэлектроники дает возможность создания интегрированных датчиков. Различают интеграцию «по горизонтали» и «по вертикали».
Интеграция «по вертикали» подразумевает размещение в одном кристалле чувствительного элемента, схемы усиления, преобразования и др., т.е. использование технологии МЭМС.
Интеграция «по горизонтали» заключается в создании многоэлементных и многофункциональных датчиков (датчиков нескольких физических величин), т.е. создание многосенсорных (мультисенсорных) МЭМС или combo-сенсоров.
Перспективным направлением в развитии сенсорики является разработка датчиков для медицины и клинической практики. Биосенсоры позволяют контролировать состояние организма человека при хронических заболеваниях, помогают в выборе лекарственных препаратов и видов лечения.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.Джексон Р.Г. Новейшие датчики / Р.Г.Джексон. М.: Техносфера, 2007.
2. Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник / Дж. Фрайден. М.: Техносфера, 2006.
3. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю. А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005.
4. Аш Ж. Датчики измерительных систем: В 2 кн. / Ж. Аш, П. Андре, Ж. Бофрон и др. Кн. 1. М.: Мир, 1992.
5. Аш Ж. Датчики измерительных систем: В 2 кн. / Ж. Аш, П. Андре, Ж. Бофрон и др. Кн. 2. М.: Мир, 1992.
6. Виглеб Г. Датчики / Г. Виглеб. М.: Мир, 1989.
7. Пасынков В.В. Полупроводниковые приборы / В.В. Пасынков, Л.К. Чиркин. СПб.: Лань, 2003.
8. Викулин И.М. Полупроводниковые датчики / И.М. Викулин. М.: Советское радио, 1975.
9. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин / О.А. Агеев, В.М. Мамиконова, В.В. Петров и др. Таганрог: ТРГУ, 2000.
10. Рембеза Е.С. Датчики температуры и принципы их работы / Е.С. Рембеза, С.И. Рембеза. Воронеж: ВГТУ, 2009.
11. Рембеза Е.С. Датчики силы и давления / Е.С. Рембеза, С.И. Рембеза. Воронеж: ВГТУ, 2009.
12. Рембеза Е.С. Датчики на основе магнитных и оптических эффектов / Е.С. Рембеза, С.И. Рембеза. Воронеж: ВГТУ, 2010.