Глава 2. Важной частью курса “Физические основы микроэлектроники” является лабораторный цикл

Лабораторные работы

Важной частью курса “Физические основы микроэлектроники” является лабораторный цикл.

Целью выполнения лабораторных работ является: закрепление полученных теоретических знаний дисциплины, ознакомление на практике с физическими явлениями и эффектами, поведением термодинамических систем в различных состояниях; изучение свойств полупроводников, контактов и структур; приобретение навыков научных исследований в области физико-химических процессов, протекающих при производстве и эксплуатации электронной аппаратуры в микроэлектронном исполнении.

Для успешного выполнения лабораторных работ студент должен обладать знаниями математики и физики, а кроме того ознакомиться с теоретическим материалом по теме работ, изложенном в настоящем пособии. Студент должен так же ознакомиться с приборами, входящими в лабораторную установку и получить от преподавателя допуск к выполнению работы.

В процессе выполнения лабораторной работы студенты должны записывать экспериментальные и расчетные материалы в черновик отчета. После окончания работы, полученные данные представляются преподавателю, после чего каждым студентом оформляется индивидуальный отчет, сопровождаемый краткими выводами, включающими анализ полученных результатов. Отчет должен содержать анализ точности проведенных измерений, абсолютные и относительные погрешности измерений.

Следующим этапом является подготовка к защите и защита лабораторной работы. Во время защиты студент должен отвечать аргументировано и точно на контрольные вопросы описания лабораторной работы. Для точных ответов необходимо использовать литературу, приведенную в конце описания.

2.1. Исследование характеристических параметров
полупроводников

Цель работы: экспериментальное определение ширины запрещенной зоны (E_g) и энергии активации носителей заряда (Δ E) примесного полупроводника на основании измерений температурной зависимости электропроводности, графическое построение энергетических диаграмм, ознакомление с методами определения типа проводимости полупроводников.