Контроль методом лазерного сканирования

Данный метод основан на том, что дефекты поверхности рассеивают падающий на них свет.

Различные дефекты поверхности (царапины, раковины, небольшие бугорки и т. п.) отражают свет иначе, чем идеальные участки поверхности. Рассеянный свет можно регистрировать обычным фотоприёмником. Применение указанного метода осложняется наличием отражённого фонового излучения и излучения, рассеянного от других участков поверхности. На практике очень трудно различить свет, рассеянный от дефекта, и свет, равномерно рассеянный во всех направлениях в результате общей шероховатости поверхности.

Один из методов решения данной проблемы заключается в освещении поверхности наклонным пучком света и использовании пространственной фильтрации для подавления зеркально отражённой компоненты света [6]. Типичная схема измерения приведена на рисунке 3.1. Пространственный фильтр представляет собой диафрагму с непрозрачной центральной частью, которая пропускает лишь рассеянное излучение и подавляет центральный дифракционный максимум, обусловленный зеркально отражённой компонентой. С помощью этой системы можно чётко различить сильно и слабо исцарапанные поверхности.

Рисунок 3.1 — Схема чистоты обработки поверхности

Модифицированная схема измерений позволяет осуществить сканирование поверхности с целью определения места расположения дефекта. В данном случае пучок гелий-неонового лазера сканируется при помощи осциллирующего зеркала вдоль прямой линии, проходящей по движущейся относительно пучка поверхности.

Лазерные системы позволяют существенно экономить время и денежные средства в тех случаях, когда важна высокая степень совершенства поверхности, по сравнению с визуальными методами контроля под микроскопом.