Схема реактора установки для ПХО

1 - вакуумная камера

2 - подложкодержатель

3 - п/п пластины

4 - штыревые электроды

5 - газораспределитель

6 - инфракрасный нагреватель

ПХО проводят в установках серии УВП.

Подложкодержатель выполнен в виде вращающейся пирамиды из дюралюминия, на внутренней поверхности которой крепятся пластины. Плазма зажигается между штыревыми электродами, включенными в сеть ВЧ- генератора. Газовую смесь подают через газораспределитель. Нагрев пластин осуществляется системой ИК- ламп.

Урок