Пленочные резисторы

В качестве резистивного материала тонкопленочных резисторов используют чистые металлы и сплавы с высоким удельным сопротивлением, а также специальные резистивные материалы – керметы, которые состоят из частиц металла и диэлектрика, например хрома и окиси кремния SiO₂. Широко распространены пленки хрома и тантала.

Резисторы сложной конфигурации используются в тонкопленочных гибридных ИС для получения больших сопротивлений. Это позволяет несколько сэкономить площадь и оптимально разместить другие элементы и компоненты.

1. Диапазон сопротивлений пленочных резисторов шире, чем полупроводниковых.

2. Более высокая точность и стабильность пленочных резисторов.

3. Подгонка пленочных резисторов обеспечивает меньший разброс (допусков) сопротивлений.

Конструкция пленочного резистора