И нанесение упрочняющих покрытий

Для обеспечения износостойкости и поверхностного упрочнения деталей машин и инструментов развиваются и получают применение в промышлен-ности методы воздействия на поверхностные слои лазерным излучением, ионными лучами (ионная имплантация), электронными пучками с испарением вещества и последующей его конденсацией из парогазовой фазы на поверхность изделия (электронно-лучевая технология), газофазное осаждение, плазменное напыление и др. Студенту может быть задана тема курсового проекта по одной из вышеуказанных технологий. Изучение подобных технологических процессов проводится по монографиям и журнальным статьям, рекомендуемым руководителями проекта.

  Пример. Для изготовления отрезных кругов, применяемых при разрезании тонких пластин кремния с группой изделий электронной техники на отдельные элементы по разделительным дорожкам, испольуются, в частности, абразивные материалы на основе меди, никеля или железа с содержанием 25% по объему алмазных микропорошков. С целью повышения износостойкости режущей кромки отрезных кругов для них применяют различные методы поверхностного упрочнения.

Изучена возможность упрочнения железоалмазного материала методом имплантации ионов азота при помощи ионного источника непрерывного излучения. Энергия внедрения ионов азота составила 30 килоэлектроновольт при дозе 5 ´ 105 ион/см². Глубина ионного легирования азотом равна             180 нанометров с образованием в диффузионной зоне нитридов. Ионная имплантация увеличила микротвердость металлической основы с 2500 до     3500 МПа и снизила радиальный износ отрезных кругов (Т.М. Колосова).