Применяемое оборудование

Процесс плазмохимического травления проводится на установке «Плазма 600 Т», схема которой представлена на рис. 7.4. Техниче­ские данные установки:

Давление остаточных газов.................................................................. не более 2,7 Па

Выходная мощность генератора высокой частоты …………………………..не менее 40 Вт

Рабочая частота генератора………………………………………………………………..13 560 кГц ± 1 %

Установка «Плазма 600 Т» является системой с емкостным воз­буждением газового разряда, при этом, с целью исключения загряз­нения подложек материалом электродов (ионная бомбардировка при­водит к их физическому распылению) последние вынесены за преде­лы кварцевого реактора. Подложки 1 располагаются на кассете 2 в перфорированном алюминиевом цилиндре 3, который расположен в трубе кварцевого реактора 4 соосно с ним. Ввод рабо­чего газа осуществляется через коллекторы 5. ВЧ-электрод 6 распо­лагается на внешней стороне кварцевого реактора 4. При подаче на электроды ВЧ напряжения от генератора между заземленным перфо­рированным цилиндром и электродами возбуждается газовый разряд. Нейтральные химически активные частицы, образующиеся в разряде, диффундируют через отверстия в перфорированном цилиндре и осуществляют травление подложек. Газообразные продукты гетерогенных реакций откачиваются из камеры с помощью механического насоса.