У насосов объемного действия обычно измеряют полное предельное остаточное давление газов и паров. Для этого производят откачку измерительной камеры до тех пор, пока в ней установится так называемое равновесное давление, т.е.такое давление, которое затем в течение следующих 3 ч изменится не более чем на 10%.
Это установившееся равновесное давление и принимают за предельное остаточное давление насоса.
Измерение предельного остаточного давления газов у насосов других типов производится аналогичным образом, с той лишь разницей, что перед манометрическим преобразователем, как правило, устанавливают азотную ловушку и до измерений проводят обезгаживание насоса (если это предусмотрено его конструкцией) и измерительной камеры.
Обычно при измерении предельного остаточного давления сверхвысоковакуумных насосов осуществляют прогрев измерительной камеры и манометрических преобразователей до температуры 600 – 750 К в течение 12…24 ч. За предельное остаточное давление в этом случае принимают давление, полученное через 24 ч после выключения прогрева.
Следует также особо подчеркнуть, что часто возникают ошибки в измерении предельного остаточного давления, связанные с малой проводимостью трубопровода, соединяющего измерительную камеру с манометрическим преобразователем. Обычно эта проводимость должна быть не менее 50 л/с. Однако во всех случаях предпочтительней использовать манометрические преобразователи открытого типа.
Измерение наибольшего выпускного давления
Для измерения наибольшего выпускного давления, соответствующего максимальной производительности насоса, откачивают измерительную камеру до давления, в 10 раз меньшего, чем давление, при котором производительностьнасоса максимальная. Затем натекателем,установленным на магистрали, соединяющей выпускной патрубок насоса с насосом предварительного разрежения,напускают газ до тех пор, пока давление в измерительнойкамере не возрастет на 50%. Давление, измеренное в этот момент на выпускномпатрубке насоса, принимают за наибольшее выпускное давление.
ЛЕКЦИЯ №13