К элементам вакуумных систем относятся разборные соединения, элементы соединений трубопроводов, электрические вводы, смотровые окна (иллюминаторы), устройства для передачи движения, гибкие элементы и др.
Разборные вакуумные соединения относятся к числу наиболее ответственных узлов любой вакуумной системы. Это связано с тем, что потеря вакуумной плотности вакуумной системы чаще всего вызывается разгерметизацией разборного соединения.
При выборе конструкции разборного соединения для работы в конкретной вакуумной системе необходимо руководствоваться следующими характеристиками:
1) натеканием, т.е. количеством газа, проникающего в единицу времени в вакуумный объем между поверхностями уплотнителя и элементом соединения, а также за счет проницаемости газа через материал "уплотнителя;
2) газовыделением с поверхностей уплотнителя и элементов соединения, соприкасающихся с вакуумным объемом;
3) механической прочностью соединения;
4) термической стойкостью, т.е. способностью выдерживать многократные нагревы и охлаждения без нарушения герметичности;
5) химической стойкостью;
6) легкостью монтажа и демонтажа соединения и степенью сложности его изготовления;
7) простотой проверки герметичности.
В зависимости от требований, предъявляемых к разрежению в вакуумной системе, в разборных вакуумных соединениях могут быть использованы как неметаллические, так и металлические уплотнители.