Введение.
Производство интегральных схем делится на две составные части:
1.Основное. 2. Вспомогательное производство.
Основное:
Первая фаза.
Производство пластин. Ориентация кристаллографической плоскости,
резка пластин, шлифовка, полировка, снятие фаски, отмывка.
Вторая фаза.
Производство П/П структур. Химическое травление и отмывка,
наращивание эпитаксиального слоя, диффузия или ионное лигирование,
ПХТ (плазмохимическое травление),контроль на пластине.
Третья фаза.
Сборка ИС в корпус. Разделение пластин на кристаллы, монтировка
кристаллов в корпус, разварка межсоединений, герметизация, посивация,
контроль электро параметров, маркировка, упаковка.
Вспомогательное.
1. Очистка среды. Подготовка дионизованнои воды, химреактивов, очистка
газов, очистка среды в производственном помещении.
2. Изготовление инструмента. Фотошаблонов, сварочного инструмента,
инструмента посадки.
3. Изготовление вспомогательных узлов и деталей. Корпус, выводные
рамки.
|
|
1 стадия вспомогательного производства относится ко всем фазам основного.
2 стадия только к 2 и 3 фазе.
3 к З.
Классификация оборудования.
Всего 10 групп.
1. Оборудование входного контроля.
2. Обработки П/П материала.
3. Создания эпитаксиальных слоев.
4. Создания электронно-дырочных переходов различными методами (диффузии, ионное легирование).
5. Нанесения металлических слоев для получения не выпрямляемых контактов.
6. Фотолитографии и литографии.
7. Изготовления корпусов.
8. Сборки.
9. Измерения эл. параметров и испытания на климатические и механические воздействия.
10. Выполнения заключительных операций (окраска, маркировка, фасовка).
Особенности техники безопасности в П/П производстве.
Основных - 6:
1. Газы под давлением и в частности водород (взрывоопасен) кислород (взрывоопасен) с маслом.
2. Химреактивы (ожоги, отравления).
3. Легковоспломенимые вещества (пожароопасны, отравления).
4. Токи высокой частоты (ожоги).
5. Высокое напряжение (свыше 1000В).
6. Рентгеновское излучение.
Особенности ремонта.
С целью обеспечения, настройки, регулировки и ремонта оборудования, снижения роли оператора в технологическом процессе, современное оборудование развивается по нескольким направлениям:
1. Автоматизация производственных процессов, автоматизированное проектирование и ППС.
2. Модульная и модульно-блочная конструкция(основывается на модульных принципах построения.
Модульная компоновка позволяет оперативно монтировать и демонтировать комплексы в зависимости от изменения технического объёма, процесса, производить быстро, качественно ремонт.
Модульно-блочная - способствует созданию стандартных унифицированных элементов машин.
В современном оборудовании предусмотрена самодиагностика, предупреждение о возможных неисправностях.