Осаждение пленок поликремния

Различия между пленками из монокристаллического и поликристаллического кремния связаны с тем, что монокристаллический кремний имеет строго упорядоченное, регулярно повторяющееся расположение атомов кремния в пространстве, а в поликристаллическом кремнии атомы группируются в зерна, свободно ориентированные в пространстве.

Поликристаллический кремний (поликремний) используется:

1. в качестве затвора в МОП- транзисторах;

2. для формирования высокоомных резисторов;

3. для формирования проводящих дорожек.

Поликремний осаждается путем пиролиза (разложения) силана при температуре 600°-650°С в реакторах, работающих при пониженном давлении:

Этот метод позволяет получать пленки однородного состава, а также вести процесс при низкой температуре с высокой скоростью осаждения.

Поликремний, осаждаемый при температуре 600°-650°С, имеет столбчатую структуру с размером зерен 0,03 - 0,3 мкм.

Поликремний может быть легирован путем диффузии, ионной имплантации или введением легирующих добавок в газовую смесь в ходе осаждения пленок. В ходе легирования происходит рост зерен до размера 0,5 - 1 мкм.