Объективная линза

Объективная линза формирует изображение после прохождения электронов через структуру образца. Её совершенством главным образом определяется качество изображения формируемого просвечивающим электронным микроскопом. Объективная линза состоит из линзовых обмоток, магнитопровода (сердечника) и полюсного наконечника. Форма полюсного наконечника определяет оптические свойства объективной линзы.

Рис. 1.11. Поперечное сечение полюсного наконечника объективной линзы [1].

На рис. 1.11 показано поперечное сечение полюсного наконечника объективной линзы просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100F. Сильный магнитный поток генерируется в зазоре между нижним и верхним полюсными наконечниками. Образец устанавливается на оптической оси микроскопа по центру полюсного наконечника, при этом апертура объективной линзы размещается в положении под образцом. Ниже обсуждаются четыре параметра, которые являются типичными при описании оптических свойств объективной линзы.

Длина фокуса. В магнитной линзе, чем сильнее возбуждение обмотки, тем короче длина фокуса. Длина фокуса (f₀) объективной линзы является почти постоянной, потому как объективная линза работает в режиме постоянного возбуждения. Вообще говоря, короткая длина фокуса обеспечивает малый коэффициент сферической аберрации и высокое разрешение, в то время как большая длина фокуса обеспечивает больший контраст изображения.

Коэффициент сферической аберрации. Разрешение в точке (d) про­свечивающего электронного микроскопа определяется коэффициен­том сферической аберрации (С_s) объективной линзы и длиной волны (λ) падающих электронов:

(1.4)

Как правило, более высокое возбуждение объективной линзы обеспечивает меньшее значение С_s, тем самым обеспечивая более высокое разрешение в точке.

Коэффициент хроматической аберрации. Вариаций тока возбуждения (Δ I) объективной линзы приводят к изменению длины фокуса и создают хроматическую аберрацию. Колебания ускоряющего напряжения (Δ V_v), энергетический разброс электронов (Δ V_e), эмитируемых катодом, и энергетические потери электронов (Δ V_s) приводят к колебаниям длины волны электронов, что является причиной хроматической аберрации. Более высокое возбуждение объективной линзы обеспе­чивает меньший коэффициент хроматической аберрации (С_c). Колебания длины фокуса (Δ) вследствие хроматической аберрации, вызываемой этими факторами, выражаются в виде:

(1.5)

где V — ускоряющее напряжение; I — ток возбуждения объективной линзы.

Астигматизм – асимметрия поля, возникающая из-за недостатков в изготовлении объективной линзы или вследствие наличия неоднородностей в мягком железе полюсных наконечников. Астигматизм проявляется в виде нарушения круговой симметрии ПЭМ-изображения. Такое искажение корректируется с помощью стигматора объективной линзы.