Раздел 4. Экспериментальная часть

Объект исследования: кремневая пластина с нанесенным слоем АК-1 толщиной 1 мкм (без литографии, без сжижения). Толщина пластины 400 мкм.

На первом этапе работы проводим измерение удельного поверхностного сопротивления исследуемого образца на установке ИУС-3.

Необходимо измерить показатель в 20 точках и построить график распределения по подложке.

Результаты измерений удельного сопротивления по 20 точкам:

1. 0,024 Ом/кв.

2. 0,022 Ом/кв.

3. 0,021 Ом/кв.

4. 0,021 Ом/кв.

5. 0,023 Ом/кв.

6. 0,023 Ом/кв.

7. 0,023 Ом/кв.

8. 0,021 Ом/кв.

9. 0,022 Ом/кв.

10. 0,021 Ом/кв.

11. 0,023 Ом/кв.

12. 0,021 Ом/кв.

13. 0,021 Ом/кв.

14. 0,021 Ом/кв.

15. 0,021 Ом/кв.

16. 0,020 Ом/кв.

17. 0,021 Ом/кв.

18. 0,023 Ом/кв.

19. 0,021 Ом/кв.

20. 0,021 Ом/кв.

Рис.4.1. Распределение поверхностного удельного сопротивления (Ом/кв) на поверхности исследуемого покрытия.

Методы исследования: четырехзондовый метод

Определили min, max, среднее и среднее по пластине значения:

min: 0,020 [Ом / кв]

max: 0,024 [Ом / кв]

Среднее: + = 0,022 0,002 [Ом / кв]

Среднее по пластине: = 0,0214 [Ом / кв]

На втором этапе выбрали 3 точки с максимально различными значениями Ps для дальнейшего измерения толщины слоя тонкой пленки в этих областях методом стилусной профилометрии на приборе AlphaStep D-100.

1 область: = 0,024 Ом / кв и h = 1,01 мкм

7 область: = 0,023 Ом / кв и h = 1,02 нм

19 область: = 0,021 Ом / кв и h = 1,06 нм

Рис.4.2. Зависимость удельного сопротивления от толщины слоя пленки.