Раздел 5. Результаты

В данной лабораторной работе выполнено исследование характеристик нанотолщинных покрытий, полученных методом вакуумного напыления на установке МАГНА – 2М. По итогам выполненной лабораторной работы можно сделать следующий вывод: толщина пленки в разных точках разная; распределение удельного поверхностного сопротивления на поверхностях покрытия не равномерное и с увеличением толщины пленки сопротивление уменьшается.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ:

1. Юнусов У.Д. Ручная работа, 2014 г

2. http://www.docme.ru/doc/227154/poyasnitelnaya-zapiska-1

3. http://www.physics.by/e107_files/mono/monograf_gremenok_pdf/gr_gl5.pdf

4. http://www.intertech-corp.ru/aboutproduct.asp?gr=21&subgr=71&prid=203