а – с бочкообразной формой корпуса, б – с расширенной горловиной, 1 – отверстия, 2 – корпус, 3 – маслоотражатель, 4 – эжекторная ступень, 5 – плита кипятильника, 6 – внутренняя ловушка, 7 – паропровод, 8 – змеевик охлаждения, 9 – колпачковый отражатель.
На смену паромасляным диффузионным насосам, имеющим цилиндрический корпус, приходят насосы с бочкообразной формой корпуса (рис. а) или с расширенной горловиной (рис. б). в конструкцию насосов также внесены некоторые изменения: внутренняя плита 5 кипятильника сделана гребенчатой, изменена форма паропровода 7, установлена внутренняя ловушка 6 и др. В результате скорость откачки насоса с бочкообразным корпусом увеличилась на 30%, а расширение в насосе горловины на конусе с углом 22 увеличило его быстродействие почти в два раза (до 1300 л/с). Насосы с расширенной горловиной уменьшают общую высоту вакуумного агрегата и создают удобство для монтажа водоохлаждаемых и азотных ловушек.
Рабочая жидкость диффузионных насосов должна иметь:
низкую упругость пара при комнатной температуре;
высокую термическую стабильность при рабочих температурах;
высокую термоокислительную стабильность (стойкость к окислению при соприкосновении в нагретом виде с атмосферным воздухом);
низкую поглощательную способность по отношению к газам.
Кроме того, она должна быть химически инертной и нетоксичной.
Этим требованиям отвечают отечественные рабочие жидкости, основные свойства которых приведены в таблице.